为半导体工厂提供的洁净干燥空气的整体解决方案
电子产品是我们日常生活不可或缺的一部分，影响个人生活和职业活动。它们是现代世界背后的驱动力，让一切顺畅、高效地运行。
什么是半导体工厂？
称为 FAB（半导体制造工厂）的专业工厂生产半导体和电子产品。这些工厂采用先进的技术，确保获得高品质的产品。
专注于洁净干燥空气 (CDA)
洁净干燥空气 (CDA) 装置是半导体生产中的关键组件。这包括压缩机层和干燥机/过滤器层。该过程涉及一系列步骤，以确保理想的空气纯度，这对生产环境至关重要。
实现理想空气纯度的流程
获得经认证的洁净、干燥的无油空气的过程涉及多个阶段：
- 环境空气
测量初始空气纯度水平。 - 饱和压缩空气
空气被压缩，增加空气中的相对湿度和污染物浓度 - 预过滤的饱和空气
在空气进入干燥机之前，首先进行粗滤，避免这些颗粒进入干燥机 - 预先冷却的干燥空气
吸附式干燥机可将空气湿度降低至 -100°C 的压力露点 (PDP) - 过滤后的干燥空气
干燥机之后是过滤后的第一阶段，用于捕获所有残留的灰尘。在该过滤器后面，我们仍然有一个最终的绝对过滤步骤，以去除剩余颗粒并保证低至 0.01um 的空气质量。
展示关键应用
CDA 在半导体行业的各种应用中至关重要，包括：
工具的冷却和干燥
净化
光刻技术中的工具和设备
我们的整体解决方案
阿特拉斯·科普柯针对 CDA 的完整解决方案可经济实惠地提高能源效率，并有很多机会通过回收所用能源来保护环境。如果以现代半导体生产线中的一个 FAB 解决方案为例，我们在其中的贡献如下：
节省高达 1.43 亿千瓦的能源
减少 6500 万公斤的二氧化碳排放量
相当于 10 年内种植 170 万棵树苗
节省了 4300 万升汽油
减少燃烧 500 万公斤煤的需求
节省 2100 万欧元的能源成本